https://guijiagi.com/tags/3d-dram/Recent content in 3D DRAM on AI 实战派 · 从技术到赚钱Hugozh-cn本站内容采用 CC BY-NC-SA 4.0 国际许可协议授权Sat, 05 Sep 2026 10:00:00 +0800https://guijiagi.com/posts/naura-3d-dram-two-step-etch-no-euv/Sat, 05 Sep 2026 10:00:00 +0800https://guijiagi.com/posts/naura-3d-dram-two-step-etch-no-euv/2026年9月5日，北方华创在IEEE期刊发表论文，公开其3D DRAM关键制造工艺：两步循环刻蚀实现64对硅/硅锗交替层堆叠，结构均匀度超95%，硅锗与硅刻蚀选择比超过500:1，在不依赖EUV的条件下完成了3D DRAM最困难的高深宽比刻蚀环节。